网站导航

每日彩票

当前位置:首页 > 每日彩票 > CVD/PECVD设备 > PECVD系统
1200℃高温PECVD设备
1200℃高温PECVD设备

1200℃高温PECVD设备

型号:KJ-TPECVD1100-S80CK3

简要描述:

KJ-TPECVD1100-S80CK3管式PECVD系统是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜, 该系统主要用于金属粉末镀膜中,可以旋转倾斜。

推荐产品
详细介绍

产品介绍:

KJ-TPECVD1100-S80CK3管式PECVD系统是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜, 该系统主要用于金属粉末镀膜中,可以旋转倾斜。KJ-TPECVD1100-S80CK3管式PECVD系统属于PECVD系列的一种。MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
 MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

1200度管式PECVD系统实拍图MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
1200度管式PECVD系统实拍图MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
产品优势:

1、气密性好MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
1200℃管式PECVD系统炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好,磁流体密封,保证旋转过程中还能抽真空MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
2、温场均衡MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
采用多晶纤维炉膛材料,材料保温性能好、反射率高、温场均衡MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
3、可旋转、倾斜MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
1200℃管式PECVD系统主要采用J-T1200旋转管式炉,可倾斜可旋转,可360度旋转,转速0-15转(速度可调);倾斜角0-15°(倾斜角可调)方便进出料,并且路管内设置有扬料板,使材料在炉膛内均匀受热MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
4、温控保护MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
具有超温和断偶保护功能
MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
产品参数:

产品名称 管式PECVD等离子气相沉积系统(CE认证)
旋转管式炉部分
产品型号 KJ-T1200
加热区长度 660mm(220+220+220mm三温区)
恒温区长度 400mm
炉管材质 高纯石英管(变径管)
炉管尺寸 变径管MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
两端尺寸OD:80mm* 400mmMXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
中间尺寸OD:150mm* 400mmMXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
总长1200mm 炉管中间部分焊接扬料板
工作温度 ≦1100℃
最高温度 1200℃
测温元件 3支K型热电偶分别控温
温控系统 7寸触屏显示,16段可储藏曲线,30段PID微电脑可编程自动控制,能储存和拷贝数据
保温温控精度 ±1℃
温控保护 具有超温和断偶保护功能
升温速率 0-20ºC/min
加热元件 合金电阻丝
工作电压 AC220V 单相50HZ
额定功率 5KW(以实际功率为准)
炉膛材料 采用多晶纤维炉膛材料,材料保温性能好、反射率高、温场均衡
密封系统 该炉炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好
法   兰 水冷密封法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀,方便拆卸,放取材料
倾斜结构 可倾斜倾斜角0-15°(倾斜角可调)方便进出料
旋转结构 可 360 度旋转,MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
转速0-15转(速度可调)MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
材料在炉膛内均匀受热
炉壳温度 ≤45℃
真空系统部分
名称 分子泵组:MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
旋片泵DRV16+分子泵FF-160/620
主要参数 极限真空度6.7*10-3Pa(包含KF25接口、真空挡板阀和可移动箱体)
真空显示 电容隔膜真空规,耐腐蚀,实时显示真空度
真空显示量程 其测量范围为1×105--1×10-5pa
旋转密封 磁流体密封,保证旋转过程中还能抽真空
气路系统部分
名称 三路质量流量计
气路 三路
流量控制 液晶触摸屏控制,数字显示,每路气体含有针阀单独控制,气体流量自动控制
进出气口 三进一出,内置精密混气罐
链接方式 双卡套接头
流量范围 MFC1-MFC3:0-10SLM(量程可选)
控制精度 ±1.5%F.S左右,量程不同,略有差别
工作环境温度 5℃-45℃
等离子射频器部分
名称 射频自动匹配器
工作频率 13.56MHZ+0.005%
正常工作反射功率 <3W
匹配时间 <3S
传输效率 >90%
使用稳定性 ±1%F.S
匹配器电源 AC220V/50-60HZ
输入连接器/输出连接器 N型/UHF
控制模式 手动/自动

MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
1200度管式PECVD系统实拍图MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
1200度管式PECVD系统实拍图MXH管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

 


热门产品
联系我们

手机: 181-3719-5607
固话: 0371-67826992
QQ : 3388199388(点击咨询在线客服) E-mail: 3388199388@qq.com

提交留言

在线留言

留言获取报价单。一键提供设备报价、方案设计等服务,我们将第一时间给予回复!
联系我们
QQ:
微信:微信

联系方式

邮件:3388199388@qq.com
电话:181-3719-5607
地址:河南省郑州市高新技术产业开发区冬青街26号9号楼1505室

添加微信咨询报价

咨询热线
18137195607

在线客服 联系方式 二维码

服务热线

每日彩票181-3719-5607

扫一扫,关注我们