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1400℃高真空CVD系统
1400℃高真空CVD系统

1400℃高真空CVD系统

型号:KJ-T1400-L1030-LZ4

简要描述:

每日彩票KJ-T1400-L1030-LZ4是由KJ-T1400单温区管式炉,四路质量混气系统和高真空扩散泵机组组成。其最高工作温度可达1400℃,极限真空度可达 6.67x10-3 Pa。混气系统可以四种气体进行准确的混气。

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详细介绍
 

产品介绍:AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
KJ-T1400-L1030-LZ4是由KJ-T1400单温区管式炉,四路质量混气系统和高真空扩散泵机组组成。其最高工作温度可达1400℃,极限真空度可达 6.67x10-3 Pa。混气系统可以四种气体进行准确的混气,然后导入到管式炉内部。AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
技术参数:
AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

产品名称

 AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

1400℃高真空CVD系统AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

     型号AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

KJ-T1400-L1030-LZ4AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

管式炉AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

最高温度AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

1400℃ AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

工作温度AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

≤1300℃AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

加热速率AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

最高20℃/min (建议10℃/min)AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

加热区长度AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

 300mmAOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

加热元件AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

硅碳棒AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

热电偶AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

S型AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

控温精度AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

±1℃AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

炉管尺寸AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

炉管直径Φ100mmAOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

材质:  刚玉炉管AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

温度控制器AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

PID智能化30段程序控温AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

真空法兰AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

真空法兰采用304不锈钢制作AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

左端法兰上安装由不锈钢针阀和一个球阀。AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

右端法兰设计为KF25接口,配有挡板阀和两个KF25卡箍AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

输入电源AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

 AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

单相 220V, 50 Hz  功率:4KWAOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

真空泵系统AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

扩散泵AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

采用扩散泵泵,真空度达 6.67 x 10-3 Pa 2.KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连,采用复合数显真空计AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

气路系统AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

 AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

 AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

四通道精密质量流量计:手动智能控制,数字显示,每路气体控制均可在不同气体中任意切换,无须人工换算;AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

1.MFC 1-MFC4:0-500sccm可调AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

2.4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制3种气体;AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

3.进出气口:4进1出AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

4.连接方式:双卡套连接AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

水冷机(选配)AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

配有循环水冷机,可以对炉管及真空泵进行冷却AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

注意事项AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

炉管内气压不可高于0.02MPaAOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热炉管的冲击AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

 AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

质保AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票

AOh管式炉|真空炉|箱式炉|气氛炉-每日彩票
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